Výzkum a Vývoj

vývoj PVD a PACVD technologií

  • laboratorní depoziční zařízení
  • přenos technologií do průmyslových zařízení

vývoj zdrojů částic

  • magnetrony
  • obloukové zdroje
  • iontové zdroje

modelování metodou konečných prvků

  • elektrické a magnetické pole
  • tepelné úlohy
  • mechanické namáhání
  • kombinované úlohy

analýzy tenkých vrstev

  • základní parametry (tloušťka, adheze)
  • tribologické vlastnosti (drsnost, koeficient tření, otěr)
  • mikrotvrdost a modul pružnosti
  • elektronová mikroskopie a mikrosonda
  • speciální měření (koroze, elektrické nebo optické vlastnosti apod.)

diagnostika plazmatu

  • sondová
  • hmotnostní
  • optická emisní spektroskopie

projekty a spolupráce s vědeckými pracovišti

Switch to English