XRF analyzátor je vybaven 6 analytickými krystaly (PET, Ge, LiF(220), LiF(200), RX61 a RX26) pokrývající prvkový rozsah od C po U. Je možné provádět kvalitativní i kvantitativní analýzy prvkového složení vzorků. Přístroj je dále vybaven 6 maskami: 0,5, 1, 10, 20, 30 a 35 mm (pro měření vzorků různých průměrů). Součástí je i možnost mapování měřené plochy s přesností 100 nm.
Ramanův spektrometr umožňuje konfokální měření ramanovských spekter ve spektrálním rozsahu od 200 až 1050 nm (DUV-NIR). Je vybaven třemi samostatnými optickými drahami s excitací pro NIR (785 nm), VIS (514 nm) a DUV (266 nm) oblast. Ramanův spektrometr umožňuje změnu průměru laserové stopy na povrchu vzorku od 1 mm do 300 mm. Je možné zaznamenávat ramanovská spektra v odraženém světle.
Elipsometr pracuje ve spektrálním rozsahu od 245 do 1690 nm. Umožňuje měření parametrů psi v rozsahu 0°-90° a delta v rozsahu 0°-360°. Nadto je možné měření depolarizace a anizotropie a 11 prvků Mullerovy matice v závislosti na vlnové délce a úhlu (od 45° do 90°). Je vybaven fokusačními sondami. Elipsometr umožňuje měření indexu lomu, extinkčního (absorpčního) koeficient, tloušťky vrstev, depolarizace, porozity, drsnosti a morfologie. Software obsahuje základní modely pro analýzu elipsometrických dat.
Víceúčelový tribometr pracuje v režimech technik pin-on-disc a pin-on-plate (rotující a reciproční konfigurace). Umožňuje měření v režimu bez mazání i s mazáním. Normálové zatížení lze měnit v rozsahu od 0,2 do 20 N. Je možné analyzovat třecí sílu a koeficient tření v reálném čase, vyhodnocovat otěr a analyzovat Stribeckovy křivky. Tribometr je vybaven automatickým měřením vlhkosti.
Profilometr poskytuje vertikální rozlišení 0,1 nm, rozlišení na směru měřené linie jsou 3 nm. Lze provádět měření délky skenu bez přerušení až do 55 mm. Zátěž hrotu lze měnit v intervalu od 1 do 15 mg. Z měření a analýzy dat lze zjistit výšku schodu, hloubku drážky, drsnost a pnutí v tenkých vrstvách.
S nanoindetorem lze provádět měření metodou instrumentované indentace ve vertikálním směru. Měří se mikrotvrdost a modul pružnosti, konstruovaný pro měření mechanických vlastností vrstev s tloušťkami pod 100 nm. Zátěžovou sílu je možné měnit v intervalu od 0,000075 do 10 mN. Je vybaven komůrkou s možností ohřevu vzorku až do 800 °C. Poskytuje DMA analýzu (f = 0,1-200 Hz). Je možné stanovit opotřebení v nanoměřítku a provádět nanoscratch testy.
Reflektometr pracuje v rozsahu vlnových délek od 400 – 1000 nm (VIS oblast) a 900 – 1700 nm (NIR oblast). Umožňuje měření tlouštěk tenkých vrstev od 50 nm do 100 mm (VIS oblast), 100 nm do 250 mm (NIR oblast). Lze použít i pro přímé měření reflektance, transmitance a absorbance.
Přístroj slouží k měření UV-VIS spekter v režimu absorbance nebo reflektance v oblasti vlnových délek od 190 do 1100 nm. Je vybaven stolkem umožňujícím měření reflektance pod úhly od 10 do 60°. Dalším příslušenstvím je integrační koule pro studium reflektance s uvážením rozptylů.
Optický stereomikroskop je vybaven motorizovanou osou z, segmentovým osvitem (difúzní osvit) a kamerou Promicam 3-3CP 3.1 Mpxl. Analýza snímků umožňuje kromě stanovení 2D rozměrů objektu i funkci „deep focus“ se zaostřením v různých rovinách a následným skládáním zaostřených rovin.
Analyzátor smáčivosti lze použít pro stanovení volné povrchové energie pomocí měření kontaktních úhlů smáčení. Lze provádět analýzu tvaru kapky. Je vybaven dvěma smáčecími kapalinami, voda a diiodomethan. Součástí je i teplotní komora umožňující měření při teplotách od 10 do 90 °C. Lze aplikovat různé modely pro výpočet volné povrchové energie (polární a disperzní členy).
Solární klimatická komora s možností ostřiku umožňuje provádět zkoušky odolnosti vůči slunečnímu záření. Lze nastavit relativní vlhkost v komoře v intervalu od 20 – 95 %. Ostřik vzorků se provádí demineralizovanou H2O s možností simulace deště. V komoře lze řídit teplotu v intervalu od 35 – 65 °C.
Komora klimatického namáhání umožňuje provádět testy v teplotním rozsahu od – 70 do 180 °C a při relativní vlhkosti od 10 – 95 %. Testy lze nastavit podle příslušných norem.
Zařízení umožňuje broušení a leštění vzorků. Je vybaveno několika brusnými papíry s různou hrubostí a leštícími plátny.