Výzkum a Vývoj

vývoj PVD a PACVD technologií

• laboratorní depoziční zařízení
• přenos technologií do průmyslových zařízení

vývoj zdrojů částic

• magnetrony
• obloukové zdroje
• iontové zdroje

modelování metodou konečných prvků

• elektrické a magnetické pole
• tepelné úlohy
• mechanické namáhání
• kombinované úlohy

analýzy tenkých vrstev

• základní parametry (tloušťka, adheze)
• tribologické vlastnosti (drsnost, koeficient tření, otěr)
• mikrotvrdost a modul pružnosti
• elektronová mikroskopie a mikrosonda
• speciální měření (koroze, elektrické nebo optické vlastnosti apod.)

diagnostika plazmatu

• sondová
• hmotnostní
• optická emisní spektroskopie

projekty a spolupráce s vědeckými pracovišti